子频道导航

您尚未登录，请先 登录 或者 注册  找回密码  [ 登录后可免费发布您的信息专利 ]

用于制备半导体器件的深结扩散方法
2013-9-18 20:01:03发表  已被浏览过6975次    作者:苏中专利
专利名称 用于制备半导体器件的深结扩散方法 专利号 ZL201110123196.X 专利权人 润奥电子（扬州）制造有限公司 专利类别 发明 发明、设计人员 高占成; 徐爱民; 顾标琴; 电话 —— 联系方式 江苏省扬州市广陵区创业园B2幢一楼 225006 代理机构 苏中专利 转让价格 —— 专利技术简要说明： 用于制备半导体器件的深结扩散方法，包括如下步骤：第一，在用作扩散源的氧化镓粉末中加入0.2-1.0g的氯化铵粉末，并放入陶瓷坩埚内；第二，将所述陶瓷坩埚和硅片一起装入石英管内，并向该石英管内冲入纯度≥99.999%的高纯氩气，然后进行封闭所述石英管的闭管工序；第三，将所述石英管转移到扩散炉内加热以进行扩散。本发明的深结扩散方法，扩散工艺操作简便，材料成本低，适于大批量生产；扩散后硅片少子寿命高，扩散后表面状态良好，适合采用批量生产大功率高电压半导体器件，而且最终正向通态峰值压降低，产品参数一致性和动态性能好，成品合格率高。 权利要求书：     用于制备半导体器件的深结扩散方法，其特征是，包括如下步骤：第一，在用作扩散源的氧化镓粉末中加入0.2？1.0g的氯化铵粉末，并放入陶瓷坩埚内；第二，将所述陶瓷坩埚和硅片一起装入石英管内，并向该石英管内冲入纯度≥99.999%的高纯氩气，然后进行封闭所述石英管的闭管工序；第三，将所述石英管转移到扩散炉内加热以进行扩散。 上一篇： 快速安全断电的阀门电动装置   下一篇： 铝制带翅片并联式太阳能集热器
【我也要发布信息】  【更多】  【打印】  【分享】
您觉得本篇文章对您是否有用？（点击投票）
有用（2）	没用（3）
访客留言
暂无留言或咨询
您的姓名： QQ 邮箱： @qq.com 管理员答复时系统通知我 留言正文： 提示：提交信息后系统需发邮件通知管理员，网页可能会卡住几秒钟！ 请输入验证码：  2417   欢迎留言，大家可以一起探讨哦 ！ 您的咨询，如在工作时间，将于1个小时内作出答复，最迟不超过1天 ！ 专利展示推荐   银碳化钨石墨触头材料及其制备方法 高性能绝缘防腐氟材料ETFE及其制造方法 铝制带翅片并联式太阳能集热器 柴油催化氧化脱硫方法 快速安全断电的阀门电动装置 生物可降解纳米载药缓释宫内节育器 新型涂膜行业高效除静电方法 秸秆灭茬还田机 利用水草通道和水车式增氧机进行河蟹养殖的方法 支承辊拆装机 一种阻水电缆 无机矿物纸绳的制造方法 车用散热器冷却扁管的铝合金材料 低浓度聚丙烯酰胺溶液制备方法 U形列管式换热器 高温箱专用高温线及制造方法 一种高效LED灯泡 生产玄武岩连续纤维的池窑 多功能工具箱 妊娠纹修复乳液 更多您可能关心的专利展示 点击查看更多 点击留言咨询 客户专利申请咨询请到正规留言区>>咨询留言<< 电话：0514-87325456 邮箱：yzszzl@163.com

|扬州专利事务所|扬州专利代理|扬州专利申请|专利合同备案|注册会员|网站管理| 网站地图XML   苏中专利版权所有

地址：江苏省扬州市文昌中路1号（运河城市广场）3幢办公1803/1804室 yzszzl@163.com tel 0514-87325456 苏ICP备12034879号 苏公网安备32100202010605